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发布时间:2022-04-15 05:29:21
流量控制器的主要优点是什么?
(1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计 / 质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2) 测量控制的自动化
质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。国际标草案ISO/DIS11451认为流量测量不受旋转流和流速场剖面畸变影响。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3) 地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4) 适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。产品质量的严格控制、飞机的燃料量控制,也都需要准确的质量流量测量。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。
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流量控制器容易受这几个方面的影响
质量流量控制器是一种测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿,可根据需要进行流量设定,自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制,是用于对于不同气体的比例控制。针对气体质量流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。直接测量气体的质量流量,输出质量流量信号,不用其他设备。可以的测量微小流量,采用分流装置,又可以测量大流量,而且温度,压力范围很大。
一、压力状况
在加气机中使用的质量流量控制器测量的气体的压力不低于20MPa,压力远远大于大气压。,我们认为如果用户要将流量控制在期望的设定值,那么其稳定容许范围也必须落在设备精度范围内。高压改变了振动管的内应力,提高了弹性管的等效刚度,从而使振动管的振动频率增大,两管的相位差减小;气体流经振动管时,存在压降,使得振动管受力不对称,这也对相位差有影响。
二、温度影响
用于加气机的CMF工作温度远低于室温,温度影响必须考虑;介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。
三、流速问题
压缩气体密度低,流速快,其影响不能忽略。理想情况下,流速增大则振动管的振动频率减小。通常流体密度变化小,可以认为流速与流体质量流量正比,因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。
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流量控制器
气体质量流量单位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。举个例子,容许范围2%表示流量波动在设定值的2%以内即为稳定。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
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